发布时间:2024-12-30
压电式加速度传感器,又称为压电加速度计,属于惯性式传感器之一。利用压电效应,如石英晶体的压电性质,当加速度计受振动时,质量块施加在压电元件上的力也相应变化。在被测振动频率远低于加速度计固有频率时,这种变化的力与被测加速度成正比。
工作原理
压缩式压电加速度传感器的结构由两片压电片组成,通常采用并联接法。其中一根引线接到两片压电片中间的金属片电极上,另一根直接与基座相连。压电片通常采用压电陶瓷材料制成。质量块被放置在压电片上,且比重较大。然后,使用弹簧、螺栓和螺帽对质量块施加预加载荷,从而施加预应力于压电片。整个组件装在厚基座的金属壳体中,为了隔离任何应变传递到压电元件上以避免产生虚假信号输出,通常需要加厚基座或选用刚度较大的材料来制造。
测量时,将传感器基座与试件刚性固定在一起,使传感器与试件感受相同的振动。由于弹簧的作用,质量块在压电片上产生一与加速度成正比的交变惯性力。根据压电效应,在压电片的两个表面上产生交变电荷。当振动频率远低于传感器固有频率时,传感器的输出电荷(电压)与作用力成正比,即与试件的加速度成正比。输出电荷通过传感器的输出端引出,经过前置放大器后,可以使用普通的测量仪器测量试件的加速度。通过在放大器中添加适当的积分电路,还可以测量试件的振动速度或位移。
灵敏度
压电加速度计是一种发电型传感器,可以将其视为电压源或电荷源,因此可以用电压灵敏度和电荷灵敏度两种方式来表示其灵敏度。对于给定的压电材料,灵敏度随质量块的增大或压电元件的增多而增大。一般而言,加速度计尺寸越大,其固有频率越低。因此,在选择加速度计时应当综合考虑灵敏度、结构尺寸、附加质量的影响以及频率响应特性之间的权衡。
压电晶体加速度计的横向灵敏度表示其对横向振动(垂直于加速度计轴线)的敏感程度,通常以主灵敏度(即加速度计的电压灵敏度或电荷灵敏度)的百分比表示。一般在壳体上用小红点标识出最小横向灵敏度的方向。一个优良的加速度计的横向灵敏度应小于主灵敏度的3%。因此,压电式加速度计在测试时表现出明显的方向性。
前置放大器
要测量这样微弱的电荷(或电压),关键是防止导线、测量电路和加速度计本身的电荷泄漏。换句话说,压电加速度计所使用的前置放大器应具有极高的输入阻抗,以将泄漏减少到测量准确度要求的限度以内。压电式传感器的前置放大器包括电压放大器和电荷放大器。

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