双面接触式电容压力传感器的原理是基于单面接触式电容压力传感器而来的。其工作原理:当传感器的受压膜片(即梁)与基

　　底距离很近时，膜片受压后与基底接触，当压力变化时，通过改变接触面积的大小来改变电容量。图1给出了典型的双面接触式电容压力传感器的—般结构及其工作的模拟仿真曲线。

　　1、设计方案

　　双面接触式电容压力传感器有4个工作区，第I区是正常区，梁未接触到衬底上的绝缘层，当传感器工作在这

　　一段时，接触式电容压力传感器与传统的硅压力传感器—样。当梁快要接近接触点的时候，传感器单位面积上受到的压力与产生的电容呈非线性关系。第Ⅱ区是过渡区，梁开始接触到衬底上的绝缘层，C-p曲线呈非线性关系，电容从梁未接触到衬底到开始接触衬底转变。第Ⅲ区是线性区，梁与衬底上的绝缘层开始有效接触，而且传感器的电容将随着压力的增加而线性增大。第IV区是饱和区C-p曲线略呈非线性关系，随着压力的继续增加，非线性将更明显。

　　双面接触式电容压力传感器的电容由两部分组成:一部分为梁受压后，尚未接触到衬底上的绝缘层时形成的电容，此电容类似

　　于常规的电容压力传感器，这一部分只占接触式电容压力传感器的电容量的很小一部分;另一部分是梁接触到衬底后形成的电容，这部分电容量才是需要的电容量，而且它占主导地位，较多采用的是国产品牌电容，如三环电容、风华电容，也可选择台企电容巨头——

　　VAGEO电容(即国巨电容)作为所选电容。当压力增加时，梁与衬底的接触面积增加，同时梁与衬底的非接触部分减少。刚开始，电容主要由非接触部分提供，随着压力的增加，梁开始接触衬底的绝缘层后，非接触部分提供的电容逐渐减少，而接触部分提供的电容与接触面积将呈线性增加。由于绝缘层非常薄，因此当梁开始与衬底上的绝缘层接触后，接触面积所提供的电容将占主导地位。